SPECS-TII Rus    |  123001, Moscow, Bolshaya Sadovaya str., 5   |      Tel.: +7 (495) 920-90-05     |     E-mail: info@specs-tii.ru

Источник электронов

SPECS EQ22/35

Данный источник может быть использован для любого применения, где требуется сфокусированный электронный пучок. Среди популярных применений: Ожэ-электронная спектроскопия (AES), сканирующая электронная микроскопия (SEM), спектроскопия характеристических потерь энергии электронами (EELS), электронно-стимулированная десорбция (ESD) и др. Благодаря высокой проводимости короткофокусной линзы источник электронов EQ 22/35 обладает высоким током электронного пучка в широком спектре энергий.  

Особенности:
  • Сохранение параметров пятна на всем протяжении процесса сканирования
  • Широкий диапазон энергий
  • Высокий ток электронов
  • Малый размер пятна
  • Интегрированное отклонение пучка электронов
  • Возможность использования импульсного режима
Технические характеристики:
  • Спектр энергий: 20 эВ - 5 кэВ
  • Разрешение < 1эВ
  • Ток пучка до 200 мкА
  • Размер пятна до 50 мкм
  • Корректировка трапецеидальных искажений
  • Сканируемая площадь 10х10 мм2