Ионный источник

SPECS IQE 12/38 Wien Filter

Фильтр Вина расположен между ионизирующим пространством и фокусирующими ступенями источника ионов IQE 12/38. Он выбирает определенные ионы и подавляет примеси и незаряженные частицы с помощью комбинации электрических и магнитных полей. Обладает способностью удалять ионы нежелательных изотопов, примесные ионы, заряженные кластеры, а также нейтральные частицы и кластеры путем наклона оптической оси. Стандартная конфигурация оснащена 4800 Гаусс магнитом, а для применения с газами H и He может поставляться с 1000 Гаусс магнитом. Подходит для применения в спектроскопии ионного рассеяния (ISS), вторично-ионной масс-спектрометрии (SIMS) и масс-спектрометрии, распылённых нейтральных частиц (SNMS).

Особенности:
  • Высокая дисперсия
  • Дополнительный магнит для полного диапазона масс до 1 а.е.м.
  • Астигматическая коррекция и регулировка луча
  • Предназначен для дооснащения IQE 12/38
Технические характеристики:
  • Ток пучка: ≥ 0.8 мкA при пятне 125 мкм
  • Широкий диапазон энергий 0.2-5 кэВ
  • Большая область сканирования 10 x 10 мм при рабочем расстоянии 23 мм
  • Размер пятна 125 мкм при рабочем расстоянии 23 мм
  • Разрешение по массе m/∆m>20@5кэВ
  • Передача при m / Δm = 20:                                           Режим точной фокусировки: 0,5
     Режим высокого тока: 0,25
  • Диапазон масс при энергии 5 кэВ составляет > 12,5 а.е.м., при энергии 1 кэВ составляет > 2,5 а.е.м.
  • Минимальный диаметр пучка 100 мкм

2

ООО "СПЕКС-ТиАйАй Рус"     |  123001, г. Москва, ул. Большая Садовая, 5   |      Тел.: +7 (495) 920-90-05     |     E-mail: info@specs-tii.ru