Ионный источник

SPECS IQP 10/63

IQP 10/63 - это надежный ионный источник с высоким ионным током до 50 мкА, переменной энергией ионов 0 - 6 кэВ, плоским профилем пучка и большой площадью распыления. Он подходит для реактивных газов и может поставляться с полной системой напуска газа.

Особенности:

​

• Ионный источник типа Пеннинга с холодным катодом

• Высокий ионный ток

• Плоский профиль пучка

• Большая площадь распыления

• Удобен для работы с реактивными газами

Технические характеристики:

• Типичный ток ионного пучка 20 мкА при 3 кэВ (Ar)

• Максимальный ионный ток, до 50 мкА

• Очень плоский профиль пучка > 10 mm

• Большая площадь распыления ∅ 8 - 20 мм

• Плоскостность пучка 5% на 60% диаметра

• Максимальная плотность тока пучка 150 мкА / см

• Переменная энергия ионов 0 - 6 кэВ

• Высокая долговременная стабильность

• Парциальное давление во время распыления
  в диапазоне 10   мбар

• Отжигается до 400 ° C после удаления магнита

• Минимальный диаметр пучка 100 мкм

• Вес 4 кг

2

-6​