
Ионный источник
SPECS IQP 10/63
IQP 10/63 - это надежный ионный источник с высоким ионным током до 50 мкА, переменной энергией ионов 0 - 6 кэВ, плоским профилем пучка и большой площадью распыления. Он подходит для реактивных газов и может поставляться с полной системой напуска газа.

Особенности:
-
Ионный источник типа Пеннинга с холодным катодом
-
Высокий ионный ток
-
Плоский профиль пучка
-
Большая площадь распыления
-
Удобен для работы с реактивными газами
Технические характеристики:
-
Типичный ток ионного пучка 20 мкА при 3 кэВ (Ar)
-
Максимальный ионный ток, до 50 мкА
-
Очень плоский профиль пучка > 10 mm
-
Большая площадь распыления ∅ 8 - 20 мм
-
Плоскостность пучка 5% на 60% диаметра
-
Максимальная плотность тока пучка 150 мкА / см
-
Переменная энергия ионов 0 - 6 кэВ
-
Высокая долговременная стабильность
-
Парциальное давление во время распыления
в диапазоне 10 мбар -
Отжигается до 400 ° C после удаления магнита
-
Минимальный диаметр пучка 100 мкм
-
Вес 4 кг
2
-6