Электронно-лучевой испаритель для осаждения тонких металлических пленок с самой высокой степенью чистоты для различных применений в изучении поверхности

SPECS EBE-1

EBE-1 представляет собой комбинированный мини-испаритель с электронным пучком и эффузионную камеру с электронным пучком. Он способен испарять небольшие количества практически любого материала, как в форме прутка, так и в тигле.
Испаритель нагревается
за счет бомбардировки облаком электронов, испускаемых нитью накала, что обеспечивает очень равномерное распределение тепла. Чрезвычайно высокие удельная мощность и локальный нагрев позволяют достигать температур, превышающих 3000 К. Длинная нить накала обеспечивает большую площадь поверхности для эмиссии электронов и, как следствие, срок службы самой нити. Нить накала можно легко заменить, просто используя стандартную вольфрамовую проволоку, без разборки головки испарителя, чтобы минимизировать время простоя и расходы на техническое обслуживание. Прочность испарителя дополнительно повышена из-за использования уникальной конструкции высоковольтных вводов без изгибов в вакууме, что позволяет избежать проблем с усталостной нагрузкой и коротким замыканием.
Моторизованный затвор и встроенный магнитный электрод делают испаритель пригодным для точного контроля роста очень тонких пленок. Источник укомплектован источником питания с интеллектуальной передней панелью для контроля тока накала или производительности. С другой стороны, надежный источник питания может генерировать до 400 Вт для испарения самых толстых прутков (до 6 мм).

Особенности:
  • Подходит для самого широкого спектра материалов
  • Уникальный дизайн обеспечивает высочайшую надежность
  • Чрезвычайно высокая плотность мощности
  • Температура выше 3000 К
  • Испарение прутков и материалов из тиглей
Аналоговый источник питания (вид спереди)
Технические характеристики:
  • Монтажный фланец: 2,75 ”(NW35CF)
  • Длина в вакууме: 200 мм
  • Температура отжига: 200 ° C
  • Макс. диаметр испаряемого прутка: 6 мм
  • Подача прутка: до 50 мм
  • Размер тигля: 0,25 куб.
  • Рабочее давление: <10    - 10     мбар
  • Блок питания с контроллером: 400 Вт
  • Внутреннее водяное охлаждение

-10

-15

Аналоговый источник питания (вид сзади)
ООО "СПЕКС-ТиАйАй Рус"     |  123001, г. Москва, ул. Большая Садовая, 5   |      Тел.: +7 (495) 920-90-05     |     E-mail: info@specs-tii.ru