Источник газового крэкинга 

SPECS TGC-H

SPECS TGC-H является полностью совместимым с UHV источником термического газового крэкинга, использующего нагревание электронной бомбардировкой вольфрамового капилляра для термической диссоциации газа, проходящего через него. Молекулы газообразного водорода термически диссоциируют при высокой температуре вместо плазменного крекинга. Эффективность крекинга определяется равновесной термодинамикой диссоциации молекул водорода на атомы. Для капиллярных температур 1400 ° C или более и давления ниже 10-8 мбар это почти 100%. Небольшой размер и тепловая масса капилляра означает, что требуется очень мало энергии при незначительной тепловой нагрузке в систему. Сама нить легко заменить. Кроме того, для работы в сверхвысоком напряжении не требуется дифференциальная накачка, и благодаря электрически заземленному капилляру достигается эмиссия нулевого иона. Этот небольшой и простой в использовании источник идеально подходит для очистки водородом и обработки поверхности даже для небольших бюджетов.

Особенности:
  • Низкое рабочее давление
  • 100% эффективность крэкинга
  • Расхождение в ближнем луче
  • Подходит для безупречной очистки на месте, химической пассивации и реконструкции поверхности
Технические характеристики:
  • Принцип работы - источник термического газового крэкинга
  • Макс. мощность - Макс. 60 Вт на 2,45 ГГц
  • Расход газа <10-5 sccm до 1 sccm (зависит от режима)
  • Режимы работы - Атомный режим
  • Рабочее давление <10-7 - 10-5 мбар
  • Дополнительные аксессуары:
      - Интегрированный затвор                                                    - Моторизация затвора
      - Оптический видовой экран: прямой обзор зоны взлома
      - Термопара (тип C)                                                                                     - ПИД-контроллер: для опции термопары
ООО "СПЕКС-ТиАйАй Рус"     |  123001, г. Москва, ул. Большая Садовая, 5   |      Тел.: +7 (495) 920-90-05     |     E-mail: info@specs-tii.ru