Мини-плазменный источник СВЧ

SPECS MPS-ECR

Мини плазменный источник СВЧ MPS-ECR для работы с азотом, водородом и кислородом является полностью совместимым UHV компонентом для самых требовательных применений молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) и модификаций поверхности, подходящим для широкого диапазона уровней вакуума (от UHV до HV). Микроволны с частотой 2,45 ГГц генерируются микроволновым магнетроном и связываются с плазменной камерой, где плазма возбуждается и микроволны поглощаются. Плотность плазмы усиливается эффектом магнетронно-циклотронного резонанса, обеспечиваемым магнитным квадруполем 86 мТл, расположенным вокруг плазменной камеры. Электроны испытывают движение электронного циклотронного резонанса (ECR), что значительно увеличивает длину пути электрона и, следовательно, вероятность столкновения с другими молекулами и последующей ионизации. Специально разработанная апертура препятствует выбросу ионов из плазмы, в то же время позволяя нейтральным атомам азота вытекать наружу. Частицы, испускаемые из источника, сильно термализованы (<1 эВ), и, следовательно, этот источник плазмы подходит для чувствительных образцов.
Источник с возможностью полного отжига, с цельносварной вакуумной оболочкой из нержавеющей стали и превосходным водяным охлаждением по всей длине. С дополнительными наборами сменных отверстий и сеток для его извлечения, источник может быть легко перенастроен для окисляющих газов, в качестве источника плазмы нижнего уровня или в качестве отдельного источника атомов или ионов. Небольшой монтажный фланец (DN40CF) делает источник удобным для использования в условиях ограниченного пространства.
Особенности:
  • Малый монтажный фланец
  • СВЧ плазма
  • Для работы с кислородом, азотом и водородом
  • Дизайн без использования катода
  • Не требуется СВЧ настройки
  • Конфигурируемый пользователем коаксиальный дизайн
Источник питания
Технические характеристики:
  • Принцип работы - Микроволновый источник плазмы
  • Макс. мощность - Макс. 80 Вт на 2,45 ГГц
  • Расход газа <0,1 sccm до 100 sccm (зависит от режима)
  • Режимы работы - Атомный режим
  • Рабочее давление <10-7 - 10-5 мбар
  • Дополнительные аксессуары:
    - Интегрированный затвор
    - Нестандартные длины
    - Различные типы диафрагмы
    - Дифференциальная накачка пучка
    - Ионная ловушка 
ООО "СПЕКС-ТиАйАй Рус"     |  123001, г. Москва, ул. Большая Садовая, 5   |      Тел.: +7 (495) 920-90-05     |     E-mail: info@specs-tii.ru