IQP 10/63 - это надежный ионный источник с высоким ионным током до 50 мкА, переменной энергией ионов 0 - 6 кэВ, плоским профилем пучка и большой площадью распыления. Он подходит для реактивных газов и может поставляться с полной системой напуска газа.