Рентгеновский монохроматор µ-FOCUS 500/600 для сверхвысокочастотных измерений позволяет проводить XPS-измерения высокого разрешения в лаборатории вне синхротрона. Высокопроизводительный монохроматор доступен с диаметром круга Роуленда 500 мм для µ-FOCUS 500 и 600 мм для µ-FOCUS 600 соответственно, который используется в больших камерах. Кроме того, из-за своей общей компактности, он также подходит для клиентских камер как крепежный элемент. В сочетании с этим монохроматором используется источник рентгеновского излучения с анодом. Достижимый размер пятна варьируется от 250 мкм (не более 20 Вт) и не более 1 мм (не более 180 Вт), что уникально только для монохроматоров SPECS с малыми пятнами.
Рентгеновский монохроматор µ-FOCUS 500/600 NAP позволяет проводить XPS-измерения высокого разрешения при лабораторном давлении, близком к окружающему, без использования синхротронных устройств. Высокопроизводительный монохроматор доступен с диаметром круга Роуленда 500 мм для µ-FOCUS 500 и 600 мм для µ-FOCUS 600, используемого в больших камерах. Кроме того, из-за своей общей компактности, он также подходит для клиентских камер как крепежный элемент. В сочетании с этим монохроматором используется рентгеновский источник излучения с анодом. Монохроматор поставляется с приставкой NAP. Достигаемый размер пятна варьируется от 250 мкм (максимум 20 Вт) до более 1 мм (максимум 180 Вт), что является уникальным только для монохроматоров SPECS.